Новое поколение российских установок электронно-лучевого напыления

В связи с запуском в серийное производство, 16 апреля 2009 года компания "Научное и технологическое оборудование" (Санкт-Петербург) будет проводить презентацию нового поколения отечественного технологического оборудования для полупроводниковой промышленности.

Установки электронно-лучевого напыления разработаны на современном мировом уровне и предназначены для осаждения сверхчистых металлических и диэлектрических покрытий в высоком и сверхвысоком вакууме.

Технологии и оборудование для электронно-лучевого напыления являются одной из необходимых составляющих для будущего развития российской электроники и наноиндустрии.
Представленный модельный ряд оборудования позволит покрыть весь спектр отраслевых интересов: от научных исследований до серийного производства наногетероструктур.
Технологии современных гетероструктурных приборов требуют учета чистоты осаждаемого покрытия и подготовки поверхности полупроводника перед осаждением металла.

Особенно критичными чистота процесса осаждения и чистота осаждаемого металла становятся в случае гетероструктурных приборов на основе нитридных полупроводников (AlGaN, InAlGaN и т.п.).
Главное преимущество "электронного луча" перед основные методиками физического осаждения металлов – прецизионная чистота исполнения.
Компания "Научное и технологическое оборудование" была основана в ноябре 2001 года группой специалистов, которые многие годы занимались полупроводниковыми технологиями с использованием сверхвысоковакуумного оборудования.

На сегодняшний день – это единственная в России компания, которая производит законченный комплекс оборудования мирового уровня для эпитаксиального выращивания полупроводниковых наногетероструктур, а также проведения ключевых технологических операций планарного цикла при проведении разработок и серийного производства приборов наноэлектроники, полупроводниковой микро- и оптоэлектроники.
Презентация является закрытой, в ней примут участие представители ведущих российских предприятий электронной промышленности, Федерального агентства по науке и инновациям, Комитета экономического развития, промышленной политики и торговли Санкт-Петербурга.
Для представителей средств массовой информации предусмотрена особая программа, в ходе которой журналисты смогут посетить презентацию руководителя группы разработчиков, увидеть производственные помещения с оборудованием на разных стадиях сборки и взять интервью у руководства компании.

Опубликовано: 8 апреля 2009 г.

Ключевые слова: нет

Извините, комментариев пока нет